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芯東西9月17，今天，北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科“）于科創(chuàng)板成功過會(huì)。華卓精科主營業(yè)務(wù)為超精密測控設(shè)備，產(chǎn)品包括精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、光刻機(jī)雙工件臺模塊、靜電卡盤、晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等，主要應(yīng)用于集成電路制造、超精密制造、光學(xué)、醫(yī)療等行業(yè)。
光刻機(jī)工件臺是光刻機(jī)得3大核心部件之一，華卓精科是國內(nèi)首家自主研發(fā)并實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)雙工件臺商業(yè)化生產(chǎn)得企業(yè)，也是國內(nèi)光刻機(jī)龍頭上海微電子得供應(yīng)商。目前，華卓精科得DWS系列雙工件臺可用于65nm及以上節(jié)點(diǎn)得I-line、KrF和ArF干式光刻機(jī)，但尚未通過上海微電子得驗(yàn)收。
今年7月29日，華卓精科得上市委會(huì)議結(jié)果為暫緩審議，上市委現(xiàn)場詢問了有關(guān)其光刻機(jī)雙工件臺得產(chǎn)業(yè)化前景、其技術(shù)研發(fā)是否依賴清華大學(xué)、以及2019年和2020年第四季度得大額銷售收入等事項(xiàng)。
報(bào)告期內(nèi)，華卓精科營收呈遞增趨勢，2018年、2019年、2020年其營收分別為8570萬元、1.21億元和1.52億元。
本輪IPO，華卓精科計(jì)劃募資7.35億元，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造、超精密測控產(chǎn)品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心、集成電路裝備與零部件產(chǎn)品創(chuàng)新項(xiàng)目、光刻機(jī)超精密位移測量及平面光柵測量技術(shù)研發(fā)4個(gè)項(xiàng)目。
華卓精科募集資金用途
華卓精科得董事、核心技術(shù)人員、首席科學(xué)家朱煜為公司得控股股東和實(shí)際控制人，其實(shí)際控制股份比例為54.23%。上會(huì)稿顯示，朱煜為清華大學(xué)長聘教授，華卓精科得一眾高管也都有清華背景。
華卓精科股權(quán)結(jié)構(gòu)
一、營收持續(xù)增長，超精密測控裝備為主要收入根據(jù)上會(huì)稿，華卓精科在報(bào)告期內(nèi)營收持續(xù)增長，且增速較快。華卓精科2018年-2020年各期營收分別為8570.92萬元、1.21億元和1.52億元。其2019年?duì)I收增幅達(dá)41.14%，2020年?duì)I收增幅則為25.94%。
凈利潤方面，華卓精科2018年、2019年、2020年凈利分別為1512.36萬元、2087.24萬元和1242.83萬元。
上會(huì)稿稱，華卓精科其營收增速較快主要是因?yàn)橄掠谓K端市場需求旺盛以及半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代趨勢得影響。2020年，華卓精科凈利潤下降較多，則由于其管理費(fèi)用、貸款利息、計(jì)提預(yù)計(jì)信用損失大幅增加。
華卓精科2018年-2020年?duì)I收與凈利潤變化
具體來說，華卓精科得營收組成可分為超精密測控裝備部件、超精密測控裝備整機(jī)與其他3類。
其中，超精密測控裝備部件主要為精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)及技術(shù)開發(fā)、光刻機(jī)雙工件臺模塊及技術(shù)開發(fā)、經(jīng)典卡盤及技術(shù)開發(fā)和隔振器4類；超精密測控裝備整機(jī)則可以分為晶圓級鍵合設(shè)備及技術(shù)開發(fā)與激光退火設(shè)備。
華卓精科得主要收入為精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)及技術(shù)開發(fā)，在報(bào)告期內(nèi)其業(yè)務(wù)營收組成比例波動(dòng)較大。2020年光刻機(jī)雙工件臺收入占其總營收得11.42%，在2019年該項(xiàng)收入則為0。
上會(huì)稿稱，光刻機(jī)雙工件臺技術(shù)開發(fā)難度較大。2019年，上海微電子作為國內(nèi)唯一得光刻機(jī)整機(jī)廠商未完成對合同內(nèi)容驗(yàn)收，因此華卓精科該業(yè)務(wù)收入為0。
2018年-2020年華卓精科各業(yè)務(wù)收入占比變化
從客戶情況來說，華卓精科主要客戶為半導(dǎo)體等領(lǐng)域得企業(yè)，高校客戶收入占比較低。中科飛測、上海微電子在報(bào)告期內(nèi)一直為華卓精科得前五大客戶。
2018年-2020年，華卓精科向前五大客戶得銷售收入占主營業(yè)務(wù)收入比例分別為50.23%、53.57%及58.03%。雖然前五大客戶得銷售占比不高，但上海微電子是國內(nèi)唯一得光刻機(jī)整機(jī)廠商，所以一定程度上華卓精科光刻機(jī)雙工件臺得商業(yè)化前景取決于上海微電子得光刻機(jī)整機(jī)銷售情況。
華卓精科報(bào)告期內(nèi)前五大客戶
在原材料采購方面，華卓精科所需原材料主要可分為基礎(chǔ)材料、電氣類、機(jī)械類和光學(xué)類。2020年，華卓精科對機(jī)械類和電氣類原材料采購金額較高，占比合計(jì)達(dá)76.39%。
2018年-2020年華卓精科向前五大供應(yīng)商合計(jì)采購金額占比分別為37.69%、29.41%及20.63%，呈下降趨勢。翟柯萊姆達(dá)、Zygo Corporation和山東鑫磊精密機(jī)械有限公司在2019年和2020年是華卓精科得前五大供應(yīng)商。
華卓精科報(bào)告期內(nèi)前五大供應(yīng)商
二、產(chǎn)品填補(bǔ)多項(xiàng)國產(chǎn)空白，光刻機(jī)雙工件臺存在制程差距對光刻機(jī)市場來說，主要廠商有荷蘭ASML和日本尼康、佳能和華夏上海微電子4家。
尼康和佳能主要采用“In House”生產(chǎn)模式，即光刻機(jī)得主要子系統(tǒng)均由整機(jī)廠研發(fā)和生產(chǎn)。ASML早期采用“Out House”生產(chǎn)模式，即僅負(fù)責(zé)整機(jī)得設(shè)計(jì)和子系統(tǒng)得需求定義，子系統(tǒng)由第三方廠商進(jìn)行生產(chǎn)。2010年后，ASML也開始自行設(shè)計(jì)工件臺。
上會(huì)稿指出，無論上述整機(jī)廠商采取何種研發(fā)、生產(chǎn)模式，其工件臺均不單獨(dú)對外銷售。這也意味著華卓精科對于光刻機(jī)得國產(chǎn)化替代較為重要。
具體而言，華卓精科得DWS系列光刻機(jī)雙工件臺產(chǎn)品和ASML得干式深紫外（DUV）光刻機(jī)雙工件臺處于同一架構(gòu)，但性能落后于競品；華卓精科得浸沒式DWSi系列產(chǎn)品尚未完成研發(fā)；在極紫外（EUV）領(lǐng)域，華卓精科尚未推出產(chǎn)品。
截至蕞新得上會(huì)稿簽署，華卓精科DWS系列光刻機(jī)雙工件臺累計(jì)發(fā)貨4臺，目前仍處于與上海微電子光刻機(jī)整機(jī)集成、測試階段，尚未通過上海微電子蕞終驗(yàn)收。
華卓精科光刻機(jī)雙工件臺與ASML所用工件臺對比
此外，在精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備、靜電卡盤等不同得市場，華卓精科還需要面對不同得國內(nèi)外競爭對手。這些對手既有Aerotech、應(yīng)用材料、泛林半導(dǎo)體、東京電子、住友重工等國外巨頭，也有中微公司、長川科技、北方華創(chuàng)等國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商。
相對來說，華卓精科存在融資渠道單一、品牌知名度較低、客戶資源較為劣勢等差距。此外，華卓精科得晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等仍處于小批量定制生產(chǎn)階段，未實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)，其光刻機(jī)雙工件臺也尚未通過下游客戶驗(yàn)收。在產(chǎn)線豐富度和產(chǎn)品性能上，華卓精科同樣和行業(yè)龍頭存在差距。
華卓精科產(chǎn)品業(yè)務(wù)與行業(yè)龍頭差距以及產(chǎn)品量產(chǎn)情況
盡管華卓精科得產(chǎn)品和行業(yè)龍頭相比存在不少差距，但是由于該公司較為豐富得技術(shù)積累，其產(chǎn)品填補(bǔ)了多項(xiàng)國內(nèi)空白，促進(jìn)了半導(dǎo)體制造設(shè)備和核心部件得國產(chǎn)替代進(jìn)程。
截至2021年6月30日，華卓精科共擁有198項(xiàng)專利以及1項(xiàng)專利獨(dú)占權(quán)，其中包括發(fā)明專利148項(xiàng)、實(shí)用新型43項(xiàng)、外觀設(shè)計(jì)2項(xiàng)、美國專利5項(xiàng)。
因?yàn)橹祆鲜乔迦A大學(xué)得長聘教授，華卓精科與清華大學(xué)存在較為密切得技術(shù)交流、合作。上會(huì)稿寫道，華卓精科承接了清華大學(xué)原發(fā)技術(shù)積累，并在報(bào)告期內(nèi)委托清華大學(xué)進(jìn)行了65nm雙工件臺關(guān)鍵技術(shù)測試開發(fā)項(xiàng)目。
華卓精科與清華大學(xué)作為共同專利權(quán)人擁有得專利共計(jì)162項(xiàng)，其中協(xié)議轉(zhuǎn)讓方式獲取得專利115項(xiàng)、委托開發(fā)方式獲取得專利30項(xiàng)、合作研發(fā)方式獲取得專利17項(xiàng)，清華大學(xué)授權(quán)華卓精科獨(dú)占實(shí)施許可得專利1項(xiàng)。
華卓精科和清華大學(xué)共有專利、專利實(shí)施許可、技術(shù)轉(zhuǎn)讓情況
三、研發(fā)團(tuán)隊(duì)占比超30%，2名核心技術(shù)人員系清華兼職華卓精科研發(fā)人員共有133人，占員工總數(shù)比例為33.08%。核心技術(shù)人員共有7人，分別為朱煜、張鳴、楊鵬遠(yuǎn)、陳靜、張利、張豹和劉效巖，其中朱煜和張鳴為華卓精科原有核心技術(shù)人員。
朱煜2001年于華夏礦業(yè)大學(xué)獲機(jī)械設(shè)計(jì)及理論可以博士學(xué)位。畢業(yè)后，朱煜曾先后于華夏礦業(yè)大學(xué)和清華大學(xué)從事教學(xué)和博士后工作。2004年10月至今，朱煜為清華大學(xué)教授，也是科技部重點(diǎn)領(lǐng)域創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人及China02科技重大專項(xiàng)技術(shù)副總師。此外，朱煜在全球擁有授權(quán)專利227項(xiàng)，其中發(fā)明專利173項(xiàng)；他還發(fā)表了200余篇論文，出版專著2本。
2007年和2016年，朱煜曾在北京七星華創(chuàng)電子和北方華創(chuàng)任獨(dú)立董事；2012年5月至2015年7月，他任華卓有限董事長兼總經(jīng)理；2015年8月至2015年9月，朱煜為華卓精科董事長；2015年9月至今，他擔(dān)任華卓精科董事、首席科學(xué)家。值得一提得是，朱煜也是國產(chǎn)CMP廠商華海清科得股東，擁有華海清科4.98%得股份。
華卓精科董事、首席科學(xué)家朱煜
張明2005年于清華大學(xué)獲機(jī)械工程可以博士學(xué)位。1999年3月至2000年7月，他在華夏運(yùn)載火箭技術(shù)研究院任助理工程師；2005年7月，張鳴在清華大學(xué)任博士后、助理研究員、副研究員等職。2017年8月，張鳴任華卓精科技術(shù)顧問；2018年2月起，他開始擔(dān)任華卓精科董事。
張鳴曾參與過China重大專項(xiàng)、973計(jì)劃、863計(jì)劃等6項(xiàng)級別高一點(diǎn)項(xiàng)目，發(fā)表論文66篇，其中SCI期刊收錄17篇。目前，張鳴擁有China授權(quán)專利164項(xiàng)，其中發(fā)明專利147項(xiàng)。
當(dāng)前朱煜、張鳴已取得清華大學(xué)兼職批復(fù)，作為兼職人員在華卓精科任職。兩人也承諾，如果華卓精科順利上市，其將繼續(xù)向清華大學(xué)辦理兼職批復(fù)，繼續(xù)從事兼職工作；如果未能取得清華大學(xué)同意兼職得批復(fù)，則將從清華大學(xué)辦理離職手續(xù)并全職在華卓精科工作。
華卓精科部分技術(shù)人員在清華大學(xué)任職情況
四、朱煜實(shí)際控股比例過半根據(jù)上會(huì)稿，朱煜直接持有華卓精科35.72%得股份，他還通過艾西科技和艾西博銳持有5.45%得股份。而華卓精科得徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮7名股東合計(jì)持有13.06%得公司股份，并于與朱煜保持一致行動(dòng)關(guān)系。所以朱煜實(shí)際控制得股份比例為54.23%，是華卓精科得實(shí)際控制人和控股股東。
此外，持有華卓精科股份比例超過5%得股東還有水木愿景和水木長風(fēng)兩家公司，持股比例分別為8.75%和6.78%。華卓精科董事長吳勇為水木愿景、水木長風(fēng)和吳勇本人推薦擔(dān)任。
華卓精科股東名單
結(jié)語：產(chǎn)學(xué)合作填補(bǔ)空白，需要面對多領(lǐng)域巨頭競爭與此前過會(huì)得華海清科類似，華卓精科也是依托于清華大學(xué)得技術(shù)積累，并通過“產(chǎn)學(xué)研用”模式，將學(xué)術(shù)成果轉(zhuǎn)化為商用化產(chǎn)品，填補(bǔ)了華夏光刻機(jī)工件臺這一半導(dǎo)體核心部件得空白。
因此，華卓精科如果能夠上市成功，對華夏光刻機(jī)得國產(chǎn)替代有著積極意義。但同時(shí)，華卓精科得產(chǎn)品業(yè)務(wù)較多，部分產(chǎn)品尚未規(guī)模化量產(chǎn)，能否在這些已經(jīng)比較成熟得行業(yè)獲得成功仍需觀望。
