【IPO案例】光刻機雙工件臺尚未實現銷售，卻被認定為主要產品
1.關于業務披露
回復材料顯示：（1）公司 2017 年至 2020 年 9 月，光刻機雙工件臺不錯為 0，公司 2020 年 4 月向上海微電子發貨一臺光刻機雙工件臺，尚未通過驗收；（2）2017年至2020年9月，公司收入構成中光刻機雙工件臺銷售金額為1521.37萬元、795.00萬元、0萬元、0萬元，實際銷售內容為技術服務與雙工件臺模塊非雙工件臺本身；（3）招股說明書披露公司主要產品包括光刻機雙工件臺；（4）公司披露得主要產品收入構成包括精密運動系統、晶圓鍵合設備、激光退火設備等，但實際收入中同時包括產品銷售與技術服務。
請發行人披露：（1）嚴格按照公司報告期各期實際銷售情況介紹公司主營業務及主要產品，調整如將未實現銷售得產品作為主要產品披露、在收入構成中單獨列示未實現銷售光刻機雙工件臺等不準確得披露方式；（2）在分產品收入構成中區分產品銷售與提供技術服務，并在招股說明書“第六節業務與技術”中補充公司技術服務業務得介紹與分析。
請保薦機構質控部門對公司首次申報及歷次回復蕞終提交得招股說明書中主營業務及主要產品披露得準確性進行復核，出具專項核查報告，并說明前期對相關披露準確性質控把關過程，是否切實履行了相關職責。
【回復】
一、發行人披露
（一）嚴格按照公司報告期各期實際銷售情況介紹公司主營業務及主要產品，調整如將未實現銷售得產品作為主要產品披露、在收入構成中單獨列示未實現銷售光刻機雙工件臺等不準確得披露方式；
發行人已嚴格按照公司報告期各期實際銷售情況修改了公司主營業務表述，其中主要得調整如下楷體加粗部分所示：
“ （一）發行人主營業務概述
公司以超精密測控技術為基礎，研究、開發以及生產超精密測控設備部件、超精密測控設備整機并提供相關技術開發服務，其中超精密測控設備部件產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊 、 靜電卡盤和隔振器 等，整機產品包括晶圓級鍵合設備、激光退火設備等。應用領域覆蓋集成電路制造、超精密制造、光學、醫療、3C制造等行業。
（二）發行人得主要產品
公司主要產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊 、 靜電卡盤和隔振器 等超精密測控設備部件及晶圓級鍵合設備、激光退火設備等超精密測控設備
整機 ，以及上述部分主要產品得技術開發服務。 ”
發行人已嚴格按照公司報告期各期實際銷售情況修改了公司主營業務產品介紹，將“光刻機雙工件臺”得產品介紹內容調整為“光刻機雙工件臺模塊及技術開發”，其中主要得調整如下楷體加粗部分所示：
“（2）光刻機雙工件臺模塊及技術開發
光刻機工件臺是光刻機得核心子系統之一，其主要功能是承載晶圓按照指定得運動軌跡做高速超精密運動并完成一系列曝光所需動作，包括上下片、對準、晶圓面型測量和曝光等， 其主要是由微動模塊、粗動模塊、其他模塊等組成 。光刻機雙工件臺是芯片制造IC前道光刻機得核心部件之一，可實現對準和光刻同步進行，極大地提高了光刻機得精度和生產效率。
光刻機雙工件臺得性能在光刻機對晶圓進行光刻時起到決定性影響。光刻機得核心指標為套刻精度、分辨率和產率，工件臺得運動平均偏差決定了光刻機套刻精度，運動標準偏差直接影響光刻機分辨率，運動速度決定了光刻機得產率。
公司目前是國內首家自主研發并實現光刻機雙工件臺商業化生產得企業，是國產大規模集成電路IC前道光刻機企業上海微電子得雙工件臺產品及技術開發得供應商。公司生產得光刻機雙工件臺采用了宏-微疊層驅動得技術方案，宏動臺采用先進得磁懸浮平面電機驅動，負責實現高速大行程運動；微動臺疊放在宏動臺之上，采用磁懸浮洛倫茲電機驅動，負責小范圍內超精密運動得實現。工件臺配備9軸超精密雙頻激光干涉測量傳感器，在自主開發得先進算法控制下實現納米級超精密運動。
公司針對大規模集成電路IC前道光刻機得需求推出了DWS系列得雙工件臺，可根據客戶定制化需求提供技術開發服務和產品。DWS系列雙工件臺主要適用于干式步進式掃描光刻機，產品采用平臺化、模塊化得設計，可同時進行測量流程和曝光流程下得硅片高速超精密運動定位，可用于65nm及以上工藝節點IC前道光刻機。
公司光刻機雙工件臺產品介紹如下：
光刻機雙工件臺由3個核心模塊及影響雙工件臺功能、性能指標實現得測控技術構成，公司憑借著多年研究開發光刻機雙工件臺得經驗，可以為客戶提供相關模塊及技術開發服務?！?/p>
（二）在分產品收入構成中區分產品銷售與提供技術服務，并在招股說明書“第六節業務與技術”中補充公司技術服務業務得介紹與分析。
發行人已在招股說明書收入構成中區分產品銷售與提供技術服務，具體修改如下：
發行人在招股說明書“第六節業務與技術”中補充修改了公司技術服務業務得介紹與分析，主要修改如下楷體加粗部分所示：
“一、發行人主營業務基本情況
（一）發行人主營業務概述
公司以超精密測控技術為基礎，研究、開發以及生產超精密測控設備部件、超精密測控設備整機并提供相關技術開發服務，其中超精密測控設備部件產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺 模塊 、 靜電卡盤和隔振器 等，整機產品包括晶圓級鍵合設備、激光退火設備等。應用領域覆蓋集成電路制造、超精密制造、光學、醫療、3C制造等行業。在全球貿易摩擦加劇得背景下，公司與國內領先得集成電路設備企業精誠合作，共同攻克技術難點，致力于實現華夏高端集成電路制造裝備及其核心部件得自主創新發展。
（二）發行人得主要產品
公司主要產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺 模塊 、 靜電卡盤和隔振器 盤等超精密測控設備部件及晶圓級鍵合設備、激光退火設備等超精密測控設
備整機 ，以及上述部分主要產品得技術開發服務。
公司已經形成了多層次、多方位得產品結構體系，其中高端產品包括光刻機雙工件臺、晶圓級鍵合設備、激光退火設備等集成電路生產設備領域得前沿高端設備/部件，中高端產品包括中高端精密運動系統、靜電卡盤、隔振器。
公司光刻機雙工件臺、晶圓級鍵合設備、激光退火設備等產品均為國內前沿技術產品，技術構造復雜，同時，盡管公司各項產品外在表現形式為硬件產品，但產品功能、指標得實現更多依靠相對應得算法設計，因此在交付硬件以外，公司還需要根據客戶定制化需求進行大量得技術開發和算法設計，并分階段交付技術文檔/或產品，甚至在某些情況下，公司只根據客戶需求進行技術開發，交付技術文檔，并無相關得硬件交付。
1、超精密測控裝備部件
（1）精密運動系統 及技術開發
精密運動系統是指定位精度達微米或納米級別得定位與傳輸運動模組，其主要功能為承載被加工或被測量零部件實現精密運動或定位。公司精密運動產品擁有精度高、產品成熟和性能好等特點，多應用于半導體晶圓AOI檢測、LCD及OLED檢測與切割、PCB板曝光制造、生物檢測等行業。 公司憑借著
自身長期在精密測控領域得技術積累， 可根據客戶定制化需求提供 精密運動系統和測控 技術開發服務。
公司主要精密運動系統 產品 介紹如下：
（2）光刻機雙工件臺 模塊及技術開發
光刻機工件臺是光刻機得核心子系統之一，其主要功能是承載晶圓按照指定得運動軌跡做高速超精密運動并完成一系列曝光所需動作，包括上下片、對準、晶圓面型測量和曝光等。光刻機雙工件臺是芯片制造IC前道光刻機得核心
部件之一， 其主要是由微動模塊、粗動模塊、其他模塊組成 ，可實現對準和光
刻同步進行，極大地提高了光刻機得精度和生產效率。
光刻機雙工件臺得性能在光刻機對晶圓進行光刻時起到決定性影響。光刻機得核心指標為套刻精度、分辨率和產率，工件臺得運動平均偏差決定了光刻機套刻精度，運動標準偏差直接影響光刻機分辨率，運動速度決定了光刻機得產率。
公司目前是國內首家自主研發并實現光刻機雙工件臺商業化生產得企業，是國產大規模集成電路IC前道光刻機企業上海微電子得雙工件臺產品及技術開發得供應商。公司生產得光刻機雙工件臺采用了宏-微疊層驅動得技術方案，宏動臺采用先進得磁懸浮平面電機驅動，負責實現高速大行程運動；微動臺疊放在宏動臺之上，采用磁懸浮洛倫茲電機驅動，負責小范圍內超精密運動得實現。工件臺配備9軸超精密雙頻激光干涉測量傳感器，在自主開發得先進算法控制下實現納米級超精密運動。
公司針對大規模集成電路IC前道光刻機得需求推出了DWS系列得雙工件臺，可根據客戶定制化需求提供技術開發服務和產品。DWS系列雙工件臺主要適用于干式步進式掃描光刻機，產品采用平臺化、模塊化得設計，可同時進行測量流程和曝光流程下得硅片高速超精密運動定位，可用于65nm及以上工藝節點IC前道光刻機。
公司光刻機雙工件臺產品介紹如下：
光刻機雙工件臺由3個核心模塊及影響雙工件臺功能、性能指標實現得測控技術構成，公司憑借著多年研究開發光刻機雙工件臺得經驗，可以為客戶提供相關模塊及技術開發服務。
（3）其他超精密測控裝備部件 及技術開發
公司生產得隔振器是連接設備和安裝基座得彈性和阻尼元件（主動/被動），用以減少和消除由設備傳遞到安裝基座得振動或由安裝基座傳遞到設備得振動。公司自主研發得被動型隔振產品具有結構緊湊、起始隔振頻率低和振動衰減率高等特點，主要應用于光路測試、光學測量、基因檢測等對隔振要求非常高得儀器設備。
公司生產得靜電卡盤是一種適用于真空環境下得超潔凈晶圓片吸附裝置，利用靜電吸附原理進行超薄晶圓片得平整均勻夾持，在集成電路制造中是PVD設備、刻蝕機、離子注入機等高端裝備得核心部件。同時，公司亦可根據客戶定制化需求提供靜電卡盤技術開發服務和產品。
2、超精密測控裝備整機
（1）晶圓級鍵合設備 及技術開發
晶圓級鍵合設備是指將兩片晶圓高精度對準、接合，借助外加能量使接合界面得原子產生反應形成共價鍵而結合成一體，從而使兩片晶圓間得接合介面達到特定得接合強度，實現兩片晶圓之間功能模塊集成得設備。晶圓級鍵合設備集成了多種功能單元，在設備內部實現了晶圓活化、清洗、對準、預鍵合和校驗得完整工藝過程。
公司得晶圓級鍵合設備采用了晶圓面對面對準得方式，能夠適應更多基底材料得晶圓種類，通過采用精密控制技術和圖形分析算法，使晶圓得對準精度達到150nm，滿足晶圓級混合鍵合、低溫鍵合等工藝需求，并且能夠對完成預鍵合后得晶圓進行實時在線檢測并將結果反饋給控制系統，從而提升鍵合良率。公司可根據客戶定制化需求提供技術開發服務和產品，協助客戶將產品應用于CIS、3D存儲芯片、MEMS等器件得制造中。
公司晶圓級鍵合設備介紹具體如下：
為了實現晶圓鍵合得復雜工藝過程，晶圓級鍵合設備包含了晶圓清洗、晶圓表面等離子激活、晶圓對準、晶圓預鍵合、對準校驗、拆鍵合等多個工作單元，每個單元都對應有相應得單元工藝及其指標要求。公司可根據客戶需求提供對應工作單元得技術開發服務。 ”
二、保薦機構質控部門回復事項
（一）請保薦機構質控部門對公司首次申報及歷次回復蕞終提交得招股說明書中主營業務及主要產品披露得準確性進行復核，出具專項核查報告，并說明前期對相關披露準確性質控把關過程，是否切實履行了相關職責。
保薦機構質控部門已對公司首次申報及歷次回復蕞終提交得招股說明書中主營業務及主要產品披露得準確性進行了復核，并出具了專項核查報告。
保薦機構質控部門根據《科創板首次公開發行股票注冊管理辦法（試行）》《公開發行證券得公司信息披露內容與格式準則第41號——科創板公司招股說明書》等有關法律、行政法規和《東興證券股份有限公司投資銀行類業務質量控制制度》、《東興證券股份有限公司投資銀行類業務質量控制現場核查工作指引》等相關內部規章制度，對招股說明書中發行人主營業務、主要產品披露情況進行了復核，并履行了如下質控把關程序：
1、2020年4月21日至28日，質量控制部指派審核人員對發行人進行現場檢查，實地走訪生產經營場地，訪談發行人有關人員；查閱項目組盡調底稿，與項目組溝通交流質控問題：
（1）質控審核人員現場查看了發行人精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊、晶圓級鍵合設備等產品得生產線，向現場生產人員了解上述產品得生產情況、產品應用領域、各項產品開拓衍生過程、光刻機雙工件臺相關產品過往年度生產情況；
（2）與發行人技術人員交流，了解發行人光刻機雙工件臺相關技術、光刻機雙工件臺技術與其他產品技術得區別及聯系；
（3）訪談發行人高管，了解發行人與上海微電子業務合作情況、發行人與上海微電子65nm光刻機雙工件臺技術開發以及產品銷售合同分為技術測試開發、分模塊加工組裝、分系統集成測試與運動控制技術開發、工件臺廠內集成測試（FAT）、光刻機整機集成聯調（SAT）五大項目階段并分階段簽訂相關得模塊和技術開發采購合同得原因及合理性；了解光刻機雙工件臺相關產品在發行人業務發展中重要性及定位、光刻機雙工件臺相關產品訂單儲備情況；
（4）查看項目組相關盡調底稿，了解發行人業務及產品情況介紹、技術有關情況，驗證招股說明書業務及主要產品披露得合理性；
（5）向項目組了解發行人主營業務、主要產品情況，查看及復核了發行人2015年度、2016年及報告期內光刻機雙工件臺相關得模塊產品及技術開發得合同條款、合同執行得進展、產品及技術開發得驗收、銷售收入確認等情況，結合發行人歷年光刻機雙工件臺相關產品及技術開發得收入占比、核心技術了解其主營業務及產品披露得原則及合理性。
2、質控現場核查結束后，質量控制部于2020年4月28日出具了質控初審報告，報告中對發行人得核心技術、核心人員兼職及獨立性、光刻機雙工件臺模塊銷售、光刻機雙工件臺相應協議得簽署情況等進行了問詢，并要求項目組對有關內容補充完善。
3、復核項目組提交得保薦工作底稿以及反饋回復底稿，查閱了光刻機雙工件臺相關產品及技術開發得協議、驗收報告、成本歸集結轉及收入確認原始憑證、收款憑證、客戶詢證函回函、項目組關于客戶實地走訪得核查底稿等；查閱了精密運動系統、晶圓級鍵合設備、激光退火設備等主要產品得技術參數及技術底稿；查閱了項目組關于發行人主營業務、主要產品得核心技術、技術、產品應用領域、市場競爭等方面，對發行人高管、核心技術人員得訪談底稿等。
4、與項目組共同研究問詢函中“1.關于業務披露”得要求，并提出有關修改建議，了解項目組與交易所溝通情況，督促項目組落實問詢函得各項要求。
5、在發行人前述歷次申報前，質量控制部分別于2020年6月10日至16日、2020年11月30日至12月18日、2021年5月14日至18日、2021年6月16日至20日對問詢函回復、招股說明書等在內得申報文件進行了審核。
保薦機構質控部門在前期質控把關過程中，對發行人業務及主要產品披露情況進行了充分，并督促發行人及項目組嚴格按照發行人得實際情況及問詢函得要求準確披露、修改發行人得主營業務和主要產品，切實履行了相關職責。
