無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。

無塵室概述

無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。

如表所示，每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

控管項目

1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

⒉ 能防止微塵粒子之產生。

⒊ 溫度和濕度之控制。

⒋ 壓力之調節。

⒌ 有害氣體之排除。

⒍ 結構物與隔間之氣密性。

⒎ 靜電之防制。

⒏ 電磁干擾預防。

⒐ 安全因素之考慮。

⒑ 節能之考量。

⒒照度的的調節

無塵室設備

風淋室

風淋室系列產品是一種通用性較強的局部凈化設備，安裝于潔凈室與非潔凈室之間。當人與貨物要進入潔凈區時需經風淋室吹淋，其吹出的潔凈空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃，能有效的阻斷或減少塵源進入潔凈區。風淋室/貨淋室的前后兩道門為電子互鎖，又可起到氣閘的作用，阻止未凈化的空氣進入潔凈區域。

FFU

FFU可模塊化連接使用，使得FFU廣泛應用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產線、組裝式無塵室和局部百級等應用場合。FFU設有初、高效兩級過濾網。風機從FFU頂部將空氣吸入并經初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45M/S±20%的風速勻速送出。它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級的潔凈室、微環境提供高質量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中，即可提高潔凈度級別，降低噪音和振動，也可大大降低造價，安裝維護方便，是潔凈環境的理想部件。

FFU特點: 1.FFU外形尺寸(mm):1175*575*320，噪聲52~56分貝;2.FFU箱體和高效過濾器采用分體式設計,安裝,更換高效更方便; 3.風機采用德國emb直驅式離心風機或者國產鋁葉輪離心風機,工作時間長達5萬小時以上; 4.并具有節能、計算機集中控制、運行穩定、噪聲低、數字化調整等特性; 5.FFU采用獨特的風道風速均勻，整個出風面以0.45M/S風速均勻送出。 6.殼體可選用鏡面不銹鋼、覆鋁鋅板、冷板靜電噴塑制做美觀大方; FFU出廠前均按美國聯邦標準(209E)用激光粒子計數器逐臺掃描檢測，確保質量;FFU適用于10~1000級無塵車間，便于整體運行集中控制; FFU適用于半導體、電子、平板顯示器和磁盤驅動器的廠家及光學、生物工業及其它對空氣中污染有嚴格控制要求的地方。以獨特的優勢合理的價格迅速占領市場。 高度低，系統設計時可節省氣室空間。輕量化結構設計，可符合各廠家的 Grid 系統安裝，更可依 Grid 系統，變更 FFU 結構尺寸設計。內部裝置擴散板.風壓擴散均勻，出風面風速平均穩定。金屬結構順風道內膽，永不老化.杜絕二次污染產生，表面光滑，風阻低.隔音效果優良。特殊入風口，風道設計，降低壓損與噪音的產生。馬達效率高，系統消耗電流低，節省能源成本。單相馬達，提供三段式調速，可依實際狀況調高或降低風速與風量。 1. 風機采用進口高效離心風機，具有長壽命、低噪聲、免維護、震動小、可無級調速等特性，風機質量可靠，工作壽命長達5萬小時或以上。 2. 特別適合于組裝成超凈生產線，可根據工藝需要布置為單臺使用，也可將多臺串聯形成100級流水裝配線。 3. 殼體結構選用不銹鋼、鋁合金、覆鋁鋅板、冷軋鋼板材料制造，重量輕、抗腐蝕、防銹、美觀大方。 4. 產品出廠前均按美國聯邦標準209E，METOME塵埃粒子計數器逐臺掃描檢測，確保質量。 溫州升旭凈化工程有限公司專業承接空氣凈化工程、手術室凈化、GMP車間凈化、實驗室凈化、無菌室凈化、食品車間凈化、層流手術室凈化、廠房凈化、藥品車間等服務。

無塵室構成
 

無塵室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室:

⑴天花板系統

包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

⑵空調系統

包括空氣艙、過濾器系統、風車等。

⑶隔墻板(Partitional wall)

包括窗戶、門。

⑷地板

包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具

包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無塵室之建筑主體構造

一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件:

A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕;

B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子;

C.吸濕性小;

D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高;

維護管理

潔凈技術在近20年發展迅速，各種規模、不同等級的無塵室在電子、精密機械、航天、醫療、食品、化妝品、生物制藥等行業發揮著日益重要的作用，為提高產品質量、開發高新產品做出了重要貢獻。無塵室如果設計是正確、合理的，施工建造是高質量的，但在運行維護管理中不科學、不嚴格、必將使無塵室的空氣潔凈度逐漸下降，造成實際生產環境中的多項指標偏離規定要求，從而產品質量下降，甚至不合格。

無塵室人員管理，制定專職管理人員的職責、無塵室人員的準入制度、人員培訓教育規定、進入無塵室人員的"人凈程序"管理。物流管理，物料進入、各類設備進入，以及相關設備、管線的維護管理，應做到不得將微粒、微生物帶入室內。潔凈度管理，包括潔凈服采購和制作、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規定等。清掃、滅菌管理，對于無塵室內的各種設備和設施的清掃滅菌方法，周期和檢查作明確的規定，防止、消除無塵室內塵粒、微生物的產生、滯留及繁殖。嚴格各類設備、設施的維護管理，制定相應的操作規程，保證各類設備、設施按要求正常運轉，包括凈化空調系統、各類水電系統、生產工藝設備和器具等，以確保產品生產工藝要求和空氣潔凈度級別。

監控無塵室在使用過程中正常的運行和維護，應對室內的運行狀況及相關設施進行定期檢查。如:在規定的時間、地點，用粒子計數器測定控制粒徑的微粒數;在規定時間、地點測定沉降菌落數或浮游菌數等;溫濕度方面，在規定的時間、地點測定和核對連續測定記錄;測量凈化空調系統的高效過濾器的壓差，檢查空氣過濾器是否堵塞、安裝的密封墊是否完好或過濾器損壞引起的泄露情況，使用風速計檢查局部排風裝置的風量;使用噪聲測定儀在規定的時間、地點測定噪聲值;檢查送風機軸承、送風機的運行狀態、塵埃和污物，以及送、回風管道內部和送風口的腐蝕及污垢等情況;無塵室內是否保值清潔、頂棚和墻面是否有裂縫或腐蝕;涂敷狀態、機械和設備類有沒有異常現象等，必須逐個列表檢查，不能遺漏任何一項;使用照度表在規定的時間、地點測定照度值;使用壓差表測定無塵室內外的靜壓差。

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